[发明专利]一种直拉硅单晶的自动调温方法有效
| 申请号： | 201810545610.8 | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN110528069B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 王正远;李侨;周锐;徐战军 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 钟欢 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开的直拉硅单晶的自动调温方法，用于自动调节液面温度，包括以下步骤，设定目标液面温度值Ts，测量实际液面温度值T，以t为固定周期时间计算实际液面温度T与目标液面温度Ts的差值ΔT；判断ΔT是否在给定范围；如果是，则进入温度稳定过程，如果不是，则进行温度调节过程；温度调节过程中，对差值ΔT进行计算，得出功率调节量ΔPower及功率设定值Pr，输出功率设定值Pr，进而调节硅熔体液面温度。本发明取消了SP参与的控制，消除了不稳定因素，提高了系统控制温度的稳定性，提高调温的统一性，提高成品率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直拉硅单晶 自动 调温 方法 | ||
【主权项】：
1.一种直拉硅单晶的自动调温方法，用于引晶之前自动调节液面温度，其特征在于，包括温度调节过程和温度稳定过程，所述温度调节过程包括以下步骤：/n设定功率初始设定值Pi；/n设定目标温度值Ts：控制系统自动记录前N次相同工艺条件下的引晶温度，并做平均值处理，作为目标温度值Ts，其中N≥2；/n以t为固定周期，测量液体表面实际温度T；/n计算实际温度T与目标温度Ts的差值ΔT；/n设定ΔT波动的给定范围，判断ΔT是否在给定范围，若ΔT在给定范围内，控制调温过程进入温度稳定过程，若ΔT不在给定范围内，依据ΔT自动调节功率，进而调节液面温度。/n
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