[发明专利]测试基板及延长测试基板使用寿命的方法在审
| 申请号： | 201810545832.X | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN108847381A | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 张正洋;张越强 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种测试基板，用于在干刻蚀制程中被进行刻蚀模拟，测试基板包括：玻璃基板，以及制备于玻璃基板表面的刻蚀层，刻蚀层用于被干刻设备刻蚀形成图案，且阻挡刻蚀力作用于玻璃基板表面；有益效果为：本发明提供的测试基板，在基板表面制备刻蚀层，用于被干刻设备刻蚀形成图案，且阻挡刻蚀力作用于基板表面，保护基板表面不被雾化，进而延长基板使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 测试基板 刻蚀层 玻璃基板表面 基板表面 使用寿命 基板 制备 图案 阻挡 玻璃基板 延长测试 板表面 雾化 制程 | ||
【主权项】：
1.一种测试基板，用于在干刻蚀制程中被进行刻蚀模拟，其特征在于，所述测试基板包括：玻璃基板；以及，刻蚀层，制备于所述玻璃基板表面，用于被干刻设备刻蚀形成图案，且阻挡刻蚀力作用于所述玻璃基板表面。
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