[发明专利]一种侧面加样的单晶炉加样装置在审
| 申请号： | 201810546875.X | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN108385159A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 李小刚 | 申请（专利权）人： | 峨眉山市元素新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 白小明 |
| 地址： | 614100 四川省乐山*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于单晶炉技术领域，具体涉及一种侧面加样的单晶炉加样装置。针对现有技术中，从单晶炉侧面加样的方式导致加料速度降低且影响单晶质量的问题，本发明的技术方案是：包括炉室和直拉室，炉室中设置有坩埚，坩埚上方设置有导流筒，所述炉室侧面设置有密封闸门，密封闸门的外部和内部分别设置有外部密封法兰和内部法兰，所述内部法兰上连接有石英导向管，石英导向管的末端位于坩埚的上沿与导流筒之间；外部密封法兰上连接有真空加料箱。本发明适用于单晶炉。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 加样 炉室 坩埚 加样装置 密封闸门 内部法兰 外部密封 导流筒 导向管 侧面 法兰 石英 侧面设置 速度降低 影响单晶 真空加料 加料 直拉 外部 | ||
【主权项】：
1.一种侧面加样的单晶炉加样装置，包括炉室(3)和直拉室(1)，炉室(3)中设置有坩埚(4)，坩埚(4)上方设置有导流筒(2)，其特征在于：所述炉室(3)侧面设置有密封闸门(8)，密封闸门(8)的外部和内部分别设置有外部密封法兰(9)和内部法兰(7)，所述内部法兰(7)上连接有石英导向管(6)，石英导向管(6)的末端位于坩埚(4)的上沿与导流筒(2)之间；外部密封法兰(9)上连接有真空加料箱(11)。
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