[发明专利]一种单晶硅片制绒方法

摘要

本发明公开了一种单晶硅片制绒方法，依次包括以下步骤：在粗抛槽中去除损伤层及硅片表面脏污；在预清洗槽中预清洗；在第一漂洗槽中第一次漂洗；在制绒槽中制绒；在第二漂洗槽中第二次漂洗；在碱洗槽中碱洗；在第三漂洗槽中第三次漂洗；在酸洗槽中酸洗；在第四漂洗槽中第四次漂洗；在慢提拉槽中预脱水；在烘干槽中烘干；第一漂洗槽和慢提拉槽中均添加常温水，且慢提拉槽中的常温水通过泵输送至第一漂洗槽中。本发明一种单晶硅片制绒方法，改变慢提拉和第一漂洗的水温，将现有技术中的热水改进为常温冷水，并将慢提拉槽中的水持续地泵入第一漂洗槽，使得使用快速制绒添加剂制绒后硅片外观得到改善，同时节省了成本，提高了产能。

主权项

1.一种单晶硅片制绒方法，其特征在于：依次包括以下步骤：在粗抛槽中去除损伤层及硅片表面脏污；在预清洗槽中进行预清洗；在第一漂洗槽中进行第一次漂洗；在制绒槽中进行制绒；在第二漂洗槽中进行第二次漂洗；在碱洗槽中进行碱洗；在第三漂洗槽中进行第三次漂洗；在酸洗槽中进行酸洗；在第四漂洗槽中进行第四次漂洗；在慢提拉槽中进行预脱水；在烘干槽中进行烘干；所述的第一漂洗槽和慢提拉槽中均添加常温水，且慢提拉槽中的常温水通过泵输送至所述的第一漂洗槽中。