[发明专利]消光装置、光学元件安装座、光学元件及建模方法有效
| 申请号： | 201810548408.0 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN110554496B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 周剑锋;程海林;刁雷;袁伟杰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B7/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种消光装置、光学元件安装座、光学元件及建模方法。所述消光装置为由变孔径的空间圆扫掠而成的类牛角孔，孔径最大的空间圆所在平面为所述类牛角孔的光入射面，所述类牛角孔的孔内壁为光反射壁，所述类牛角孔关于所述Z轴和所述X轴所确定的平面对称，所述类牛角孔的孔内壁上任意点A的坐标满足设定函数关系。本发明实施例提供的消光装置可以达到消除杂散光，提高光学系统的性能的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 光学 元件 安装 建模 方法 | ||
【主权项】：
1.一种消光装置，其特征在于，所述消光装置为由变孔径的空间圆扫掠而成的类牛角孔，孔径最大的空间圆所在平面为所述类牛角孔的光入射面，所述类牛角孔的孔内壁为光反射壁，以所述光入射面的空间圆的圆心为坐标原点，以经过所述坐标原点且垂直于所述光入射面方向为Z轴，以所述类牛角孔的牛角端在所述光入射面上的垂直投影与所述坐标原点的连线所确定的直线为X轴，以经过所述坐标原点且与所述X轴和所述Z轴均垂直的方向为Y轴，建立直角坐标系；所述类牛角孔关于所述Z轴和所述X轴所确定的平面对称；/n所述类牛角孔的孔内壁上任意点A的坐标(x，y，z)满足：/n
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