[发明专利]一种CVI/CVD工艺尾气的回收装置有效
| 申请号： | 201810551579.9 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN110550618B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 邵忠;贾林涛;吴彪;李爱军 | 申请（专利权）人： | 上海康碳复合材料科技有限公司;上海大学 |
| 主分类号： | C01B32/16 | 分类号： | C01B32/16;C01B32/15;C01B3/26;C09C1/48 |
| 代理公司： | 上海新隆知识产权代理事务所(普通合伙) 31366 | 代理人： | 金利琴 |
| 地址： | 上海市安亭镇杭*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种CVI/CVD工艺尾气的回收装置，包括降温过滤设备、真空泵、等温裂解炉和后期综合处理设备，降温过滤设备包括循环液体降温模块，油过滤器和干燥过滤器；等温裂解炉内底部安置预热区模块，预热区模块上方设置等温区模块。所述预热区模块为多层迷宫式石墨板。等温区模块下部为延时缓冲区，等温区模块上部为等温区上腔体，等温区上腔体设置多层石墨板结构，石墨板上设置活性炭生长结构，活性炭生长结构表面载有炭黑催化剂。等温裂解炉顶部为气体出口，气体出口通过管道与后期综合处理设备连接。后期综合处理设备包括变压分离器和固体过滤器。本发明是一种处理效率高，安全性能好，生态环境友好度高的CVI/CVD工艺尾气的回收装置和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cvi cvd 工艺 尾气 回收 装置 | ||
【主权项】：
1.一种CVI/CVD工艺尾气的回收装置，包括降温过滤设备、真空泵、等温裂解炉和后期综合处理设备，其特征在于，所述降温过滤设备包括循环液体降温模块，油过滤器和干燥过滤器；所述真空泵设置于降温过滤设备和等温裂解炉之间；所述等温裂解炉内底部安置预热区模块，所述预热区模块上方设置等温区模块；所述预热区模块为多层迷宫式石墨板；所述等温区模块下部为延时缓冲区，所述等温区模块上部为等温区上腔体，所述等温区上腔体设置多层石墨板结构，石墨板上设置活性炭生长结构，活性炭生长结构表面载有炭黑催化剂；所述等温裂解炉顶部为气体出口，所述气体出口通过管道与后期综合处理设备连接；所述后期综合处理设备包括变压分离器和固体过滤器。/n
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