[发明专利]激光转印装置及方法在审
| 申请号： | 201810552110.7 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN110557902A | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;张柏诚;陈颖;付浩然;蒋晔;刘兰兰 | 申请（专利权）人： | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
| 主分类号： | H05K3/30 | 分类号： | H05K3/30;G02B27/09 |
| 代理公司： | 33250 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 舒丁 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光转印装置及方法，所述装置包括：激光器、扩束器、分光镜以及聚焦模块；所述激光器用于产生激光束；所述扩束器设置在所述激光器产生的激光束的光路上，用于将激光器产生的激光束扩束；所述分光镜设置在所述扩束器扩束后的激光束的光路上，用于使扩束后的激光束经过反射后进入所述聚焦模块；所述聚焦模块设置在所述分光镜反射后的激光束的光路上，用于对激光束进行聚焦并将聚焦后的激光束投射至预定转印加工位置。利用聚焦后的激光束进行转印，激光束照射面积减小，减小了热扩散的范围，进一步的减小了对周边其他器件的影响，实现了高精度的选择性转印。 | ||
| 搜索关键词： | 激光束 激光器 聚焦模块 扩束器 聚焦 分光镜 减小 扩束 转印 激光转印装置 分光镜反射 激光束扩束 激光束照射 面积减小 转印加工 热扩散 投射 反射 | ||
【主权项】：
1.一种激光转印装置，其特征在于，所述装置包括：激光器、扩束器、分光镜以及聚焦模块；/n所述激光器用于产生激光束；/n所述扩束器设置在所述激光器产生的激光束的光路上，用于将激光器产生的激光束扩束；/n所述分光镜设置在所述扩束器扩束后的激光束的光路上，用于使扩束后的激光束经过反射后进入所述聚焦模块；/n所述聚焦模块设置在所述分光镜反射后的激光束的光路上，用于对激光束进行聚焦并将聚焦后的激光束投射至预定转印加工位置。/n
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