[发明专利]显影控制系统及显影控制方法有效
| 申请号： | 201810552640.1 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN108803258B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 陈仲仁;蔡在秉;张晋源;张波;王辉;李德全 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 钟子敏 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显影控制系统，所述显影控制系统包括：第一与第二管道，分别连接显影槽；显影槽，容纳显影液；控制装置，设置于第一管道与显影槽间及第二管道与显影槽间，控制显影原液与显影循环液传输至显影槽；第一调节装置，与显影槽和控制装置连接，控制装置控制第一调节装置通过第三管道向显影槽传输第一调节溶液，本发明还公开了一种显影控制方法，通过上述方法，控制显影液的显影能力，实现CD的均一性，以提高画质。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种显影控制系统，其特征在于，包括：第一管道，连接显影槽，用于传输显影原液至所述显影槽；第二管道，连接所述显影槽，用于传输显影循环液至所述显影槽；所述显影槽，用于容纳所述显影原液及所述显影循环液构成的显影液；控制装置，设置于所述第一管道与所述显影槽之间以及所述第二管道与所述显影槽之间，控制所述显影原液与所述显影循环液传输至所述显影槽；第一调节装置，与所述显影槽和所述控制装置连接，所述控制装置控制所述第一调节装置通过第三管道向所述显影槽传输第一调节溶液。
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