[发明专利]用于化学增幅抗蚀剂组合物的含碘聚合物

摘要

用于化学增幅抗蚀剂组合物的含碘聚合物。一种单体，具有式(I)：其中在式(I)中，基团和变量与本说明书中所述的相同。

主权项

1.一种单体，具有式(I)：其中在式(I)中：W是‑(C＝O)O‑、‑O(C＝O)‑、‑O(SO2)‑、‑(SO2)O‑、‑NH(SO2)‑、‑(SO2)NH‑、‑NH(CO)‑、‑(CO)NH‑、‑SO2‑、‑SO‑，Ra是H、F、‑CN、C1‑10烷基或C1‑10氟烷基；L是选自以下的连接基团：未经取代或经取代的C1‑20亚烷基、未经取代或经取代的C3‑20亚环烷基、未经取代或经取代的C6‑20亚芳基和未经取代或经取代的C7‑20亚芳烷基；表示单环或多环未经取代或经取代的C_6‑30亚芳基或单环或多环未经取代或经取代的C_3‑30亚杂芳基，其中“*”表示与相邻基团或原子的连接点；“I”表示碘；X选自‑F、‑Cl、‑Br、羟基、氰基、硝基、氨基、脒基、肼基、腙基、羧酸基或其盐、磺酸基或其盐、磷酸基或其盐、未经取代或经取代的C1‑30烷基、未经取代或经取代的C2‑30烯基、未经取代或经取代的C2‑30炔基、未经取代或经取代的C1‑30烷氧基、未经取代或经取代的C3‑30环烷基、未经取代或经取代的C1‑30杂环烷基、未经取代或经取代的C3‑30环烯基、未经取代或经取代的C1‑30杂环烯基、未经取代或经取代的C6‑30芳基、未经取代或经取代的C6‑30芳氧基、未经取代或经取代的C6‑30芳硫基、未经取代或经取代的C7‑30芳烷基、未经取代或经取代的C1‑30杂芳基、未经取代或经取代的C2‑30杂芳氧基、未经取代或经取代的C2‑30杂芳硫基或未经取代或经取代的C3‑30杂芳烷基，其中X任选地包含酯基或‑C(CF3)2OH；m是0或更大的整数，其限制条件为当m是2或更大的整数时，两个相邻的基团X任选地形成环；并且n是1或更大的整数。