[发明专利]等离子体产生装置和离子注入设备有效
| 申请号： | 201810555440.1 | 申请日： | 2018-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN110556280B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 苏恒毅 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317;H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体产生装置和离子注入设备。包括激光产生结构、粒子产生腔室和筛选组件：激光产生结构，用于产生符合预定条件的飞秒脉冲激光，预定条件包括预定波长和/或预定能量；粒子产生腔室，用于接收所述飞秒脉冲激光并照射位于所述反应腔室中的靶材以激发形成高能粒子束；所述筛选组件，用于对所述高能粒子束进行筛选，以形成仅包括离子的等离子体束。可以通过使用高功率飞秒脉冲激光辐照靶材，得到强激光高能粒子束，并经过筛选形成等离体子体束，电离率极高，与传统的电离中性气体等离子源相比，可在较短时间内得到较高剂量、高纯度的等离子体束，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 产生 装置 离子 注入 设备 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体产生装置，其特征在于，包括激光产生结构、粒子产生腔室和筛选组件：/n所述激光产生结构，用于产生符合预定条件的飞秒脉冲激光；其中，所述预定条件包括预定波长和/或预定能量；/n所述粒子产生腔室，用于接收所述飞秒脉冲激光并照射位于所述粒子产生腔室中的靶材以激发形成高能粒子束，所述高能粒子束中的粒子包括离子、中子和电子；/n所述筛选组件，用于对所述高能粒子束进行筛选，以形成仅包括离子的等离子体束。/n
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