[发明专利]用于光瞳成像散射测量的变迹法在审
| 申请号： | 201810555453.9 | 申请日： | 2013-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN108762006A | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 安德鲁·W·希尔;阿姆农·玛纳森;巴拉克·布林戈尔茨;欧哈德·巴沙尔;马克·吉诺乌克;泽夫·博姆索恩;丹尼尔·坎德尔 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01N21/55;G01N21/47;G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于光瞳成像散射测量的变迹法。在一些实施例中，系统包含安置于照明路径的光瞳平面内的变迹器。在一些实施例中，所述系统进一步包含经配置以用变迹照明的至少一部分来扫描样本的表面的照明扫描仪。在一些实施例中，所述系统包含经配置以提供四极照明功能的变迹光瞳。在一些实施例中，所述系统进一步包含变迹收集场光阑。本文中描述的各种实施例可经组合以实现某些优点。 | ||
| 搜索关键词： | 变迹 光瞳 散射测量 成像 光瞳平面 扫描样本 四极照明 照明路径 变迹器 扫描仪 光阑 配置 安置 | ||
【主权项】：
1.一种光学计量设备，其包括：至少一个照明源，其经配置以提供沿照明路径的照明；变迹器，其安置于所述照明路径的光瞳平面内，所述变迹器经配置以将变迹曲线应用到沿所述照明路径导引的照明，其中所述变迹曲线在沿所述照明路径导引的所述照明上告知强度调制或相位调制中的至少一者；照明扫描仪，其沿所述照明路径安置，所述照明扫描仪经配置以用来自于所述变迹器的所述照明的至少部分来扫描样本的表面；至少一个检测器，其经配置以检测沿收集路径从所述样本的所述表面散射、反射或辐射的照明的部分。
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