[发明专利]一种变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量装置及方法在审
| 申请号： | 201810556358.0 | 申请日： | 2018-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN108627254A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 陈磊;孔璐;丁煜;韩志刚;吴志飞;郑东晖;郑权;朱文华;王冲;杨光 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 薛云燕 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种变倾角移相马赫‑曾德尔干涉仪测量装置及方法。该装置包括光源变倾角移相组件、主干涉仪和成像组件，光源变倾角移相组件出射倾斜的平行光进入主干涉仪，主干涉仪中的参考光与测试光经分光棱镜重新会合后进入成像组件，在CCD靶面获得干涉图。方法为：首先光源变倾角移相组件产生与光轴平行的准直光，将补偿板置于主干涉仪中，调整补偿板的位置，在CCD上获得成像清晰的干涉图；然后调整反射镜使折转后的光束倾角发生变化，测试光经过补偿板引入不同光程差，在干涉图中引入不同移相量；最后采集到系列移相干涉图后，通过移相算法恢复相位。本发明具有成本低、结构紧凑、对比度好、操作简便的特点，可广泛应用于波前高精度检测领域。 | ||
| 搜索关键词： | 变倾角 主干涉仪 移相组件 干涉图 光源 成像组件 补偿板 测试光 马赫-曾德尔干涉仪 干涉仪测量 高精度检测 测量装置 成像清晰 调整补偿 分光棱镜 光束倾角 光轴平行 移相干涉 移相算法 引入 参考光 反射镜 光程差 平行光 移相量 准直光 出射 折转 会合 采集 应用 恢复 | ||
【主权项】：
1.一种变倾角移相马赫‑曾德尔干涉仪测量装置，其特征在于，包括光源变倾角移相组件(1)、主干涉仪(5)和成像组件(11)，所述光源变倾角移相组件(1)包括共光轴顺次设置的点光源(2)、准直物镜(3)和第一反射镜(4)，所述主干涉仪(5)包括共光轴设置的第一分光棱镜(6)、第二反射镜(7)、第三反射镜(8)、补偿板(9)和第二分光棱镜(10)，所述成像组件(11)包括共光轴顺次设置的第一成像透镜(12)、第二成像透镜(13)和CCD(14)；所述光源变倾角移相组件(1)出射倾斜的平行光，调整该平行光偏离光轴的角度，进入主干涉仪(5)；主干涉仪(5)中的参考光与测试光经第二分光棱镜(10)重新会合后，进入成像组件(11)；成像组件(11)中第一成像透镜(12)的后焦点与第二成像透镜(13)的前焦点重合，形成双远心光路，在CCD(14)靶面获得经参考光与测试光相干叠加后形成的干涉图。
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