[发明专利]平面度测量的柔性装置

摘要

本发明提供了一种平面度测量的柔性装置，本发明的平面度测量柔性装置，借助大量探针获取被测平面的高度信息，同时通过内置计算程序可快速计算出平面度数值，并实时显示出来，测量较为方便，通过大数量探针获得测量点高度值，提高了测试的准确性，同时由于柔性连接装置可扩大缩小的特点，该装置大小可伸缩、调节，适用范围更广，适合不同大小连续平面的平面度测量，属于一种适用范围广泛的直接法测量平面度的装置，精度可达到0.01mm。

主权项

1.一种平面度测量的柔性装置，其特征在于，包括：包括柔性连接机构、探针、感应测量装置和数据微处理器，其中，所述柔性连接机构用于固定多个探针，每个探针的一端与平面柔性机构的连接点为一个节点，每个探针的另一端与被测平面紧密接触；所述感应测量装置包括力学传感器和与所述力学传感器连接的中央处理器，力学传感器包括在每个节点处设置的感应探头，所述感应探头与中央处理器电气连接；所述数据微处理器通过电缆与所述中央处理器相连，所述数据微处理器接收所述中央处理器传输的数据，所述数据微处理器根据接收的所述数据计算出平面度值通过显示器进行输出。