[发明专利]一种具有电磁屏蔽的封装结构及其工艺方法在审
申请号: | 201810558861.X | 申请日: | 2018-06-01 |
公开(公告)号: | CN108878382A | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 何正鸿;黄浈;柳燕华 | 申请(专利权)人: | 江苏长电科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/552;H01L21/56 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 赵海波;孙燕波 |
地址: | 214400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种具有电磁屏蔽的封装结构及其工艺方法,所述结构包括基板(1),所述基板(1)正面设置有芯片(3),所述芯片(3)外围设置有多个金属柱(2),所述芯片(3)和金属柱(2)外包封有塑封料(4),所述金属柱(2)的高度高于塑封料(4),所述塑封料(4)表面以及超出塑封料(4)的金属柱(2)表面设置有金属溅镀层(5)。本发明一种具有电磁屏蔽的封装结构及其工艺方法,它在进行金属层溅镀工艺时,不需要切成单颗产品进行溅射,可以直接使用整片基板直接电镀或者溅镀,可以提高生产效率;另外金属层通过金属柱进行接地,可以达到屏蔽的目的。 | ||
搜索关键词: | 金属柱 塑封料 电磁屏蔽 封装结构 基板 芯片 金属层 溅镀 金属溅镀层 表面设置 生产效率 正面设置 电镀 接地 屏蔽 包封 溅射 整片 外围 | ||
【主权项】:
1.一种具有电磁屏蔽的封装结构,其特征在于:它包括基板(1),所述基板(1)正面设置有芯片(3),所述芯片(3)外围设置有多个金属柱(2),所述芯片(3)和金属柱(2)外包封有塑封料(4),所述金属柱(2)的上端高于塑封料(4),所述塑封料(4)上表面以及超出塑封料(4)的金属柱(2)表面设置有金属溅镀层(5)。
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