[发明专利]一种基于表面纳米轴向光子结构回音壁微腔的探针式微位移传感系统在审
| 申请号： | 201810558912.9 | 申请日： | 2018-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN108871200A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 董永超;王晗;王瑞洲;陈新;陈新度 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于表面纳米轴向光子(SNAP)结构回音壁微腔的探针式微位移传感系统，包括调谐激光器、偏振控制器、耦合波导、光电探测器、SNAP结构微腔和位移装置。调谐激光器产生的扫频激光，经偏振控制器和耦合波导进入SNAP结构微腔，光电探测器用于获取谐振谱。该系统通过监测谐振模式的Q值和透过率实现微腔轴向的微位移传感，可以有效减小温度波动等外界环境因素对传感精度的影响，同时，SNAP结构微腔具有体积小、重量轻和易于封装集成等优点，便于实现探针式测量。 | ||
| 搜索关键词： | 微腔 探针 轴向 位移传感系统 调谐激光器 光电探测器 偏振控制器 表面纳米 耦合波导 回音壁 传感 外界环境因素 谐振 封装集成 光子结构 位移装置 温度波动 谐振模式 体积小 透过率 微位移 重量轻 光子 减小 扫频 测量 激光 监测 | ||
【主权项】：
1.一种基于表面纳米轴向光子结构回音壁微腔的探针式微位移传感系统，其特征在于，包括调谐激光器、偏振控制器、耦合波导、光电探测器、表面纳米轴向光子结构微腔和位移装置；所述调谐激光器与所述偏振控制器相连，所述偏振控制器与所述耦合波导相连，所述耦合波导与所述光电探测器连接，所述表面纳米轴向光子结构微腔固定在所述位移装置上，所述位移装置设置在移动台上；其中，所述调谐激光器产生连续且波长可调谐的激光并输入到光纤中，所述偏振控制器控制光纤中光的偏振态，所述耦合波导用来将光波耦合进入表面纳米轴向光子结构微腔，所述光电探测器用于将光信号转换为电信号，所述表面纳米轴向光子结构微腔是传感系统的核心器件，用于产生谐振谱，所述位移装置用于调整微腔的轴向位移，使得表面纳米轴向光子结构微腔相对于耦合波导产生移动，改变微腔的耦合位置，以改变腔内谐振模式的Q值和透过率。
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