[发明专利]与外涂布光致抗蚀剂一起使用的涂料组合物有效
| 申请号： | 201810563354.5 | 申请日： | 2018-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN109143783B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 李惠元;沈载桓;S·J·林;朴琎洪;Y·R·申 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;C09D5/00;C09D167/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在优选的方面，提供了有机涂料组合物，特别是与外涂光致抗蚀剂一起使用的抗反射涂料组合物，其包含1)一个或多个经取代尿嘧啶部分；和2)一个或多个反应的二羧酸基团。 | ||
| 搜索关键词： | 外涂布光致抗蚀剂 一起 使用 涂料 组合 | ||
【主权项】：
1.一种经涂布衬底，包含：(a)在衬底上的涂料组合物层，所述涂料组合物包含含有一个或多个经取代尿嘧啶部分和一个或多个反应的二羧酸基团的树脂；和(b)所述涂料组合物层上的光致抗蚀剂层。
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