[发明专利]一种用于高压静电电压直接测量的MEMS微镜传感器有效
| 申请号： | 201810564105.8 | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN108828291B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 翟小社;白民宇;姚晓飞 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00;G01R29/12 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于高压静电电压直接测量的MEMS微镜传感器，包括MEMS微镜及PCB板，其中，MEMS微镜包括基座、微镜及封盖，其中，PCB板、基座、微镜及封盖自下到上依次分布，且PCB板上设置有金属引线，基座上设置有导电柱，微镜上设置有金属悬臂，光纤的一端与光发射/接收器相连接，光纤的另一端穿过封盖与光纤探头相连接，光纤探头正对所述金属悬臂，金属引线的一端与待测高压带电体相连接，金属引线的另一端与导电柱电连接，导电柱位于金属悬臂的正下方，该传感器能够实现对高压带电体的高压静电电压进行直接测量，并且具有结构简单、成本低及体积小的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 高压 静电 电压 直接 测量 mems 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种用于高压静电电压直接测量的MEMS微镜传感器，其特征在于，包括MEMS微镜(2)及PCB板(1)，其中，MEMS微镜(2)包括基座(21)、微镜(22)及封盖(24)，其中，PCB板(1)、基座(21)、微镜(22)及封盖(24)自下到上依次分布，且PCB板(1)上设置有金属引线(12)，基座(21)上设置有导电柱(211)，微镜(22)上设置有金属悬臂(222)，光纤(3)的一端与光发射/接收器(4)相连接，光纤(3)的另一端穿过封盖(24)与光纤探头(231)相连接，光纤探头(231)正对所述金属悬臂(222)，金属引线(12)的一端与待测高压带电体相连接，金属引线(12)的另一端与导电柱(211)电连接，导电柱(211)位于金属悬臂(222)的正下方。
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