[发明专利]一种新型金刚石砂轮的制备方法及微结构阵列的高效超精密加工方法在审
| 申请号： | 201810564321.2 | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN108747822A | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 郭兵;吴明涛;张俊;赵清亮 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B24B53/06 | 分类号： | B24B53/06;B24B53/075;B24B53/14;B24D18/00;B24B1/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 毕雅凤 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种新型金刚石砂轮的制备方法及微结构阵列的高效超精密加工方法，涉及微结构功能表面的超精密机械加工领域，为了解决现有微结构阵列超精密加工技术的砂轮极易磨损导致面形精度损失及磨削加工效率低的问题。将待加工金刚石砂轮安装在竖直放置的磨削主轴上，将修整轮安装在水平放置的修整主轴上，磨削主轴的轴线和修整主轴的轴线相互垂直，采用修整轮预修整金刚石砂轮，激光头可绕激光焦点在竖直方向进行角度调整，利用激光头在金刚石砂轮外圆表面上加工砂轮表面轮廓结构。采用金刚石砂轮对加工工件的表面进行超精密磨削加工，获得具有纳米级表面粗糙度的平面，再进行超精密磨削加工，获得微结构阵列。本发明适用于加工微结构阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 微结构阵列 金刚石砂轮 超精密加工 磨削加工 修整 新型金刚石砂轮 磨削主轴 超精密 激光头 修整轮 加工 制备 纳米级表面粗糙度 砂轮 超精密机械 功能表面 激光焦点 加工工件 角度调整 精度损失 轮廓结构 砂轮表面 竖直放置 外圆表面 微结构 面形 竖直 磨损 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种新型金刚石砂轮的制备方法，其特征在于，该方法包括：步骤一、将待加工金刚石砂轮(1)安装在竖直放置的磨削主轴(2)上，将修整轮(3)安装在水平放置的修整主轴(4)上，调制磨削主轴(2)和修整主轴(4)的空间位置，使磨削主轴(2)的轴线和修整主轴(4)的轴线相互垂直；步骤二、旋转的金刚石砂轮(1)在水平方向按往复直线运动轨迹与旋转的修整轮(3)做相对运动，金刚石砂轮(1)与修整轮(3)接触后相互磨损实现金刚石砂轮(1)的预修整；步骤三、将激光器(5)的激光头(6)水平安装在精密倾斜台(7)上，调整激光头(6)与精密倾斜台(7)之间的位置，使激光头(6)可绕激光焦点在竖直方向进行角度调整；步骤四、根据待加工微结构阵列(8)的沟槽宽度、高度、角度和沟槽间距，利用激光头(6)在金刚石砂轮(1)外圆表面上加工砂轮表面轮廓结构(9)。
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