[发明专利]借助于材料转化的固体分开

摘要

本发明涉及一种用于在固体(1)中产生剥离区域(2)的方法，所述剥离区域用于将固体部分(12)，尤其固体层(12)与固体(1)剥离，其中要剥离的固体部分(12)比减去固体部分(12)的固体更薄。根据本发明，所述方法至少包括如下步骤：提供要加工的固体(1)，其中固体(1)优选由化学的化合物构成；提供激光光源；用所述激光光源的激光辐射加载固体(1)，其中激光束经由要分离的固体部分(12)的表面(5)进入固体(1)中，其中激光辐射限定地加载固体(1)的在固体(1)内部的预设的部分，以构成一个剥离区域(2)或多个子剥离区域(25，27，28，29)，其特征在于，通过激光加载在晶格中依次产生多个修改部(9)，其中晶格由于修改部(9)在围绕修改部(9)的区域中至少在所述区域的各一个部分中裂开，其中通过在修改部(9)的区域中的裂纹预设剥离区域(2)或者预设多个子剥离区域(25，27，28，29)。

主权项

1.一种用于将至少一固体部分与固体分离的方法，其中所述方法至少包括如下步骤：借助于激光修改所述固体的晶格，其中在所述晶格中产生多个修改部，其中所述晶格由于所述修改部在围绕所述修改部的区域中至少在所述区域的各一个部分中裂开，其中通过在所述修改部的区域中的裂纹预设剥离区域，其中激光束经由抛光的表面进入至少部分透明的固体中，其中所述裂纹是亚临界的并且在所述固体中以小于5mm扩展，其中亚临界的所述裂纹大多数在平行于所述固体的如下表面的平面中扩展，其中所述激光束通过所述表面进入到所述固体中，其中所述固体包括碳化硅或由碳化硅构成，其中所述固体是铸块，其中所述激光器的激光束的波长选择为，使得所述固体的线性吸收小于0.1cm‑1，其中沿着所述剥离区域将所述固体分为至少两个组成部分。