[发明专利]一种薄膜材料表面电位的测量设备在审
| 申请号： | 201810565261.6 | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN108508282A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 严玉婷;黄荣辉;艾精文;向真;胡力广 | 申请（专利权）人： | 深圳供电局有限公司 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种薄膜材料表面电位的测量设备，包括：试验箱，用于为测量提供真空条件并通入测量所需的各种气体；设置在所述试验箱内的加热台，用于为测量提供所需的温度条件；位于所述加热台之上且与所述加热台紧密接触的地电极；设置在所述试验箱内的针电极和栅网电极，所述栅网电极位于所述针电极与所述地电极之间，所述针电极与第一高压电源相连，所述栅网电极与第二高压电源相连；设置在所述试验箱内的静电探头，用于对置于所述地电极之上、经充电后的待测薄膜材料进行表面电位测量。本发明设计合理，易制作，使用方便，原理简单，可以实现不同温度以及不同气氛下的测量实验，并保证测量结果的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 栅网电极 地电极 加热台 针电极 薄膜材料表面 电位 测量设备 高压电源 测量 试验 表面电位测量 薄膜材料 测量实验 温度条件 真空条件 静电 试验箱 探头 充电 制作 保证 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜材料表面电位的测量设备，其特征在于，包括：试验箱，其具有两开孔，其中一个连接真空泵，用于为测量提供真空条件，另一个为透气孔，用于通入测量所需的各种气体；设置在所述试验箱内的加热台，用于为测量提供所需的温度条件；位于所述加热台之上且与所述加热台紧密接触的地电极；设置在所述试验箱内的针电极和栅网电极，所述栅网电极位于所述针电极与所述地电极之间，所述栅网电极与第一高压电源相连，所述针电极与第二高压电源相连；设置在所述试验箱内的静电探头，用于对置于所述地电极之上、经充电后的待测薄膜材料进行表面电位测量。
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