[发明专利]电容式机械波感测装置、阵列与机械波收发装置在审
| 申请号： | 201810565848.7 | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN110553717A | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 梁贻德;张管青;吴强;林晓逸 | 申请（专利权）人： | 风起科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01H11/06 | 分类号： | G01H11/06 |
| 代理公司： | 11228 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程殿军 |
| 地址： | 中国台湾桃园市中坜区中大*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | 一种电容式机械波感测装置，包含：一可动元件层，包含一第一导电层，具有至少一个机械波感测元件区；数个支撑柱，配置于该可动元件层的下方，依照一机械波感测元件形状定义该至少一个机械波感测元件区，该些支撑柱配置于该机械波感测元件区的角落，且与该第一导电层电性连接；及至少一基底电极，该基底电极的形状依据该机械波感测元件形状定义，配置于该可动元件层的该至少一个机械波感测元件区的对侧且与该些支撑柱隔离，该至少一基底电极与该第一导电层隔离而形成至少一电容结构。 | ||
| 搜索关键词： | 感测元件 机械波 第一导电层 基底电极 可动元件 支撑柱 形状定义 配置 隔离 电容结构 电性连接 感测装置 电容式 | ||
【主权项】：
1.一种电容式机械波感测装置，其特征在于，其包含：/n一可动元件层，包含一第一导电层，具有至少一个机械波感测元件区；/n数个支撑柱，配置于该可动元件层的下方，依照一机械波感测元件形状定义该至少一个机械波感测元件区，该些支撑柱配置于该机械波感测元件区的角落，且与该第一导电层电性连接；及/n至少一基底电极，该基底电极之形状依据该机械波感测元件形状定义，配置于该可动元件层的该至少一个机械波感测元件区的对侧且与该些支撑柱隔离，该至少一基底电极与该第一导电层隔离而形成至少一电容结构。/n
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