[发明专利]电容式机械波感测阵列装置在审
| 申请号： | 201810565996.9 | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN110553718A | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 梁贻德;吴强;张管青;林晓逸 | 申请（专利权）人： | 风起科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01H11/06 | 分类号： | G01H11/06 |
| 代理公司： | 11228 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘淑敏 |
| 地址： | 中国台湾桃园市中坜区中大*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种电容式机械波感测阵列装置，包含：一外壳，该外壳包含一空腔；数个机械波感测组件以一排列结构形成于该空腔中，每个该机械波感测组件包含：一第一可动组件层，包含一第一导电层，该第一可动组件层具有数个第一孔洞，该些第一孔洞穿透该第一导电层；至少一第一支撑柱，配置于该第一可动组件层的下方的重心处，第一支撑柱由一第一内部金属柱与一第一外部保护环构成，该第一内部金属柱与该第一导电层电性连接；一第一基底金属层，配置于该空腔的底面，借由各该机械波感测组件的该至少一第一支撑柱与该第一可动组件层隔离而形成数个电容结构；及数个扬起壁形成于该空腔的底部而分别成一突起状，配置于该些机械波感测组件之间的该排列结构的端点。 | ||
| 搜索关键词： | 感测组件 可动组件 第一导电层 机械波 支撑柱 空腔 孔洞 排列结构 金属柱 配置 基底金属层 电容结构 电性连接 感测阵列 壁形成 电容式 突起状 一空腔 重心处 底面 穿透 隔离 外部 | ||
【主权项】：
1.一种电容式机械波感测阵列装置，其特征在于，包含：/n一外壳，该外壳包含一空腔；/n数个机械波感测组件，以一排列结构形成于该空腔中，每个该机械波感测组件包含：/n一第一可动组件层，包含一第一导电层，该第一可动组件层具有数个第一孔洞，该数个第一孔洞穿透该第一导电层；/n至少一第一支撑柱，配置于该第一可动组件层的下方的重心处，该第一支撑柱由一第一内部金属柱与一第一外部保护环所构成，该第一内部金属柱与该第一导电层电性连接；及/n一第一基底金属层，配置于该空腔的底面，借由每个该机械波感测组件的该至少一第一支撑柱与该第一可动组件层隔离而形成数个电容结构；及/n数个扬起壁，形成于该空腔的底部而分别成一突起状，配置于该数个机械波感测组件之间的该排列结构的端点。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于风起科技股份有限公司，未经风起科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810565996.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
