[发明专利]一种半导体芯片生产用接近式光刻机

摘要

本发明公开了一种半导体芯片生产用接近式光刻机，包括底座、避震器和固定板，所述底座的下端安装有动轮外壳，且动轮外壳的内部设置有动轮，同时动轮外壳的外侧固定有卡销，所述避震器安装在底座的上方，且避震器的下端通过固定块与底座的上端面相互连接，所述避震器的上端设置有连接板，且连接板的上端固定有光刻机整体，所述固定板设置在底座的侧面，且固定板的上端固定有固定杆，所述伸缩杆的侧面固定有限位杆，且限位杆的外侧固定有限位块，同时限位块与光刻机整体的侧端面相互连接。该半导体芯片生产用接近式光刻机，解决了现有的光刻机，不便于移动，并且在工作的过程中稳定性较差，从而增加了光刻机的使用难度的问题。

主权项

1.一种半导体芯片生产用接近式光刻机，包括底座(1)、避震器(5)和固定板(9)，其特征在于：所述底座(1)的下端安装有动轮外壳(2)，且动轮外壳(2)的内部设置有动轮(3)，同时动轮外壳(2)的外侧固定有卡销(4)，所述避震器(5)安装在底座(1)的上方，且避震器(5)的下端通过固定块(6)与底座(1)的上端面相互连接，所述避震器(5)的上端设置有连接板(7)，且连接板(7)的上端固定有光刻机整体(8)，所述固定板(9)设置在底座(1)的侧面，且固定板(9)的上端固定有固定杆(10)，同时固定杆(10)的上端安装有伸缩杆(11)，所述伸缩杆(11)的侧面固定有限位杆(12)，且限位杆(12)的外侧固定有限位块(13)，同时限位块(13)与光刻机整体(8)的侧端面相互连接。