[发明专利]一种适用于ITO圆筒靶材脱脂的支撑工装及其使用方法有效
| 申请号： | 201810568683.9 | 申请日： | 2018-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN108821761B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 曾探;石煜;王志强 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/638 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 马荣 |
| 地址： | 241009 安徽省芜湖市经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及圆筒靶材生产设备领域，具体来说是一种适用于ITO圆筒靶材脱脂的支撑工装及其使用方法，所述支撑工装包括多个支撑板件，所述支撑板件间相互平行设置；所述支撑板件间通过支撑框架相连接；所述支撑板件上设有用于放置圆筒靶材的弧形槽，所述弧形槽横向贯穿支撑板设置。本发明公开的支撑工装，在支撑ITO圆筒靶材脱脂时，摆放快捷、易操作，同时不会造成靶材变形、破裂，并且结构上也较为简单，由多条可抗700度高温的不锈钢片焊接而成，生产成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 ito 圆筒 脱脂 支撑 工装 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种适用于ITO圆筒靶材脱脂的支撑工装，其特征在于，所述支撑工装包括多个支撑板件，所述支撑板件间相互平行设置；所述支撑板件间通过支撑框架相连接；所述支撑板件上设有用于放置圆筒靶材的弧形槽，所述弧形槽横向贯穿支撑板设置。
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