[发明专利]基板加工用暂时粘着薄膜卷、薄型基板的制造方法有效
| 申请号： | 201810569688.3 | 申请日： | 2018-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN108977117B | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 田边正人;菅生道博;近藤和纪;安田浩之 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C09J7/40 | 分类号： | C09J7/40;C09J183/07;C09J163/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 向勇;张永康 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种基板加工用暂时粘着薄膜卷，其特征在于，具备卷芯和复合薄膜状暂时粘着材料，该复合薄膜状暂时粘着材料卷绕在所述卷芯上且用以将应加工的基板暂时粘着在支撑体上，该复合薄膜状暂时粘着材料具有由热塑性树脂构成的第一暂时粘着材料层(A)、由热固性树脂构成的第二暂时粘着材料层(B)及由与第二暂时粘着材料层不同的热固性树脂构成的第三暂时粘着材料层(C)。一种薄型基板的制造方法，其使用所述基板加工用暂时粘着薄膜卷，该基板加工用暂时粘着薄膜卷能供给一种暂时粘着材料，该暂时粘着材料容易暂时粘着基板与支撑体，且在基板或支撑体上形成暂时粘着层的速度快，对于CVD等热工艺的耐性优异，容易剥离，能提高薄型基板的生产性。 | ||
| 搜索关键词： | 基板加 工用 暂时 粘着 薄膜 薄型基板 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板加工用暂时粘着薄膜卷，其特征在于，具备卷芯和复合薄膜状暂时粘着材料，所述复合薄膜状暂时粘着材料卷绕在所述卷芯上且用以将应加工的基板暂时粘着在支撑体上，并且，所述复合薄膜状暂时粘着材料具有由热塑性树脂构成的第一暂时粘着材料层(A)、由热固性树脂构成的第二暂时粘着材料层(B)、以及由与所述第二暂时粘着材料层不同的热固性树脂构成的第三暂时粘着材料层(C)。
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