[发明专利]一种薄膜电容湿度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810569939.8 | 申请日： | 2018-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN108398466A | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 杨启飞;廖胜楼 | 申请（专利权）人： | 广州九思科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙) 44446 | 代理人： | 林名钦;周郑奇 |
| 地址： | 510670 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜电容湿度传感器及其制备方法，其中薄膜电容湿度传感器包括湿敏材料薄膜层，所述湿敏材料薄膜层的一面覆有上电极层，另一面覆有下电极层。与现有技术比较，本发明所提供的薄膜电容传感器能在保证稳定性、灵敏度的前提下，可以对空气中的水分实现瞬间响应，响应时间在3 s内，可以实时迅速的监控空气湿度。 | ||
| 搜索关键词： | 湿度传感器 薄膜电容 湿敏材料 薄膜层 制备 薄膜电容传感器 下电极层 灵敏度 响应 电极层 监控 保证 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜电容湿度传感器，其特征在于，包括湿敏材料薄膜层，所述湿敏材料薄膜层的一面覆有上电极层，另一面覆有下电极层。
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