[发明专利]双激光干涉非接触厚度测量仪在审
| 申请号： | 201810572113.7 | 申请日： | 2018-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN110553593A | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 武杰;武毓钦 | 申请（专利权）人： | 南京杰晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 211122 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种使用两个激光干涉仪对被检测物体的两个面进行定位非接触测量物体厚度的仪器，包括干涉仪基座、高低调节系统，激光器、准直镜，PCS分光棱镜、图像传感器CCD，光栅尺，精密交叉导轨、光学探头、偏振片，本发明操作简单，可实时动态的看到检测的数据。 | ||
| 搜索关键词： | 图像传感器CCD 被检测物体 非接触测量 激光干涉仪 分光棱镜 高低调节 光学探头 交叉导轨 实时动态 激光器 干涉仪 光栅尺 偏振片 准直镜 精密 检测 | ||
【主权项】：
1.双激光干涉非接触厚度测量仪，其特征在于、对表面反光的材料都可以测量其厚度，仪器包括两个激光干涉仪分别在被测物体的正上方和正下方，PCS分光棱镜、图像传感器CCD、偏振片、准直镜、光学探头，光栅尺、测量厚度用的精密调整架。/n
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