[发明专利]一种动态校准的扫描式UV曝光光源系统在审
| 申请号： | 201810573180.0 | 申请日： | 2018-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN108535970A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 涂刚峰 | 申请（专利权）人： | 广州嘉禾盛信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 陈正兴 |
| 地址： | 510000 广东省广州市高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种动态校准的扫描式UV曝光光源系统，包括:箱体，所述箱体包括发光面，所述发光面上设置多个长圆形开孔，所述长圆形开孔按照设定规则均匀排列，所述发光面上设置多个安装孔位；光源系统，所述光源系统设置在所述箱体内部，所述光源系统包括多个实时反馈的动态扫描式平行光源；散热系统，所述散热系统设置在所述箱体的侧面。本发明的光源采用实时反馈动态扫描式、可独立校正双排互补式扫描光源，减少了单个光源的数量，减少了校正的时间，提高整体的转配效率；独立式的自我散热，再配合外部散热系统，使产品在工作中能快速散发热量，缩减了产品的重量，曝光时能量得到最大的有效利用率，效率和准直度和均匀性都得到极大的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 光源系统 动态扫描 动态校准 曝光光源 散热系统 实时反馈 长圆形 扫描式 开孔 校正 发光 外部散热系统 有效利用率 安装孔位 单个光源 均匀排列 平行光源 散发热量 扫描光源 箱体内部 独立式 发光面 互补式 均匀性 准直度 散热 双排 光源 侧面 曝光 配合 | ||
【主权项】：
1.一种动态校准的扫描式UV曝光光源系统，其特征在于，包括：箱体，所述箱体包括发光面，所述发光面上设置多个长圆形开孔，所述长圆形开孔按照设定规则均匀排列，所述发光面上设置多个安装孔位，用于固定所述箱体；光源系统，所述光源系统设置在所述箱体内部，所述光源系统包括多个实时反馈的动态扫描式平行光源；散热系统，所述散热系统设置在所述箱体的侧面，所述散热系统用于将光源系统产生的热量快速散发。
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