[发明专利]一种含有两部分氧化锆结构的片式氧传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201810573731.3 | 申请日： | 2018-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN108760822B | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 黄涛;包绍明;李婷;余苗 | 申请（专利权）人： | 成都科锐传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;C04B35/48;C04B35/622;C04B35/10;C04B38/06 |
| 代理公司： | 四川省成都市天策商标专利事务所 51213 | 代理人： | 刘渝 |
| 地址： | 611730 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种片式氧传感器，包括从上到下依次叠加烧结而成的多孔及保护层、功能层、空气腔层、结构层和加热层；多孔及保护层的一端为多孔氧化铝基片，多孔及保护层的另一端为第一氧化铝基片，功能层包括第一氧化锆基片、内电极和外电极，外电极位于第一氧化锆基片上靠近多孔及保护层一侧，空气腔层包括第二氧化铝基片和设于其上方的空气腔，结构层包括从上到下依次叠加的第二氧化锆基片、第三氧化铝基片和第四氧化铝基片，加热层包括第五氧化铝基片和设于其上方的加热器；本发明还提供了一种片式氧传感器的制备方法；本发明通过对其结构和配方的设计消除弯曲和分层，提高了片式氧传感器的成品率和使用寿命以及简化制备工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化铝基片 片式氧传感器 保护层 氧化锆基片 从上到下 空气腔层 依次叠加 功能层 加热层 结构层 外电极 制备 简化制备工艺 加热器 多孔氧化铝 氧化锆结构 使用寿命 烧结 成品率 空气腔 内电极 分层 配方 | ||
【主权项】：
1.一种含有两部分氧化锆结构的片式氧传感器，其特征在于，包括从上到下依次叠加烧结而成的多孔及保护层、功能层、空气腔层、结构层和加热层；所述多孔及保护层的一端为多孔氧化铝基片，多孔及保护层的另一端为第一氧化铝基片，所述功能层包括第一氧化锆基片和设于第一氧化锆基片两侧的内电极和外电极，其中外电极位于第一氧化锆基片上靠近多孔及保护层一侧，且所述多孔氧化铝基片完全覆盖外电极，第一氧化铝基片覆盖外电极引线，所述空气腔层包括第二氧化铝基片和设于其上方的空气腔，所述结构层包括从上到下依次叠加的第二氧化锆基片、第三氧化铝基片和第四氧化铝基片，所述加热层包括第五氧化铝基片和设于其上方的加热器。
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