[发明专利]一种双电池型片式宽域氧传感器的制备方法有效
申请号: | 201810573931.9 | 申请日: | 2018-06-06 |
公开(公告)号: | CN108732224B | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 黄涛;包绍明;李婷;余苗 | 申请(专利权)人: | 成都科锐传感技术有限公司 |
主分类号: | G01N27/41 | 分类号: | G01N27/41 |
代理公司: | 四川省成都市天策商标专利事务所 51213 | 代理人: | 刘渝 |
地址: | 611730 四川省成都*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种新型双电池型片式宽域氧传感器,由泵氧电池、参比电池、结构层和加热层叠压烧结而成,其中:泵氧电池包括第一氧化锆流延基片、泵氧外电极和泵氧内电极;参比电池包括第二氧化锆流延基片、测试电极和参比电极;扩散腔位于第一氧化锆流延基片和第二氧化锆流延基片之间,扩散腔两侧设置有扩散障;结构层包括第三氧化锆流延基片;加热层包括第四氧化锆流延基片、第三绝缘层和加热器。还包括新型双电池型片式宽域氧传感器的制备方法,采用流延法得到氧化锆流延基片,采用丝网印刷制备泵氧内电极、泵氧外电极、扩散障和扩散腔,然后依次叠压、烧结。本发明采用泵电流内参比,避免了参比气体氧浓度变化,提高了传感器测试精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 电池 型片式宽域氧 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种新型双电池型片式宽域氧传感器,其特征在于,由从上到下依次叠放的泵氧电池、参比电池、结构层和加热层烧结而成,其中:泵氧电池:包括第一氧化锆流延基片、设置在所述第一氧化锆流延基片上表面的泵氧外电极和设置在第一氧化锆流延基片下表面的泵氧内电极,所述泵氧外电极覆盖有多孔保护层;参比电池:包括第二氧化锆流延基片、参比电极和设置在所述第二氧化锆流延基片上表面的测试电极,所述第二氧化锆流延基片下表面设置有第一绝缘层,所述第一绝缘层下表面设置所述参比电极;所述泵氧电池与参比电池之间设置有扩散障和扩散腔,所述扩散腔位于所述第一氧化锆流延基片和第二氧化锆流延基片之间,第一氧化锆流延基片和第二氧化锆流延基片的两侧与扩散腔之间设置有扩散障,用于形成尾气扩散和尾气交换的通道,所述泵氧内电极和测试电极处于所述扩散腔内;加热层:包括第四氧化锆流延基片、第五氧化锆流延基片、设置在所述第四氧化锆流延基片下表面的第二绝缘层、设置在所述第五氧化锆流延基片上表面的第三绝缘层和被所述第二绝缘层和第三绝缘层覆盖的加热器。
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