[发明专利]流量阈值的确定方法、控制装置及半导体加工设备有效
| 申请号： | 201810573953.5 | 申请日： | 2018-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN110571118B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 姜宏伟;程旭文 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于气体管路的流量阈值的确定方法、报警方法、控制装置和半导体加工设备。所述确定方法包括步骤：将主气管路的第二端封闭，将所述主气管路与旁气管路连通；以预定气压向所述主气管路供气；根据所述预定气压确定所述主气管路的漏气上限流量；测量所述旁气管路的稳定气体流量；根据所述旁气管路的稳定气体流量和所述漏气上限流量确定流入所述主气管路的气体的流量上限阈值。该用于气体管路的流量阈值的确定方法至少实现流量上限阈值的动态调整。 | ||
| 搜索关键词： | 流量 阈值 确定 方法 控制 装置 半导体 加工 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于气体管路的流量阈值的确定方法，所述气体管路包括主气管路和旁气管路，所述主气管路与所述旁气管路选择性地连通，所述主气管路的第一端用于接收气体，所述主气管路的第二端用于与封闭腔室选择性地连通，其特征在于，所述流量阈值包括流入所述主气管路的气体的流量上限阈值，所述方法包括下述步骤：/n将所述主气管路的第二端封闭，将所述主气管路与所述旁气管路连通；/n以预定气压向所述主气管路供气；/n根据所述预定气压确定对应的所述主气管路的预设漏气上限流量；/n测量所述旁气管路的稳定气体流量；/n根据所述旁气管路的稳定气体流量和所述漏气上限流量确定流入所述主气管路的气体的流量上限阈值。/n
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