[发明专利]集成ODMR功能部件的金刚石NV磁强计及制作工艺

摘要

本发明属于固态原子磁强计领域和微纳加工制造领域，特别是公开了一种集成ODMR功能部件的金刚石NV磁强计及其制作工艺，本发明将制备有NV色心系综的块状金刚石片进行磨边整形得到梯台状金刚石，随后通过薄膜生长工艺在金刚石上表面制备出多层介质组合的反射膜，并且在底部制备多层介质组合的截止滤波膜，两种光学功能膜包裹金刚石介质形成一个陷光结构，最后，在这个金刚石为主体的陷光结构上制备出环形微波天线，开凿通光孔，微组装激光二极管和光电二极管，实现集成的NV磁强计，本发明开创性的以金刚石为核心集成设计总体陷光腔结构和系统调制光子收集各功能部件，能够最大化提高固态原子磁强计灵敏度和减小器件体积。

主权项

1.集成ODMR功能部件的金刚石NV磁强计，其特征在于，包括：一个陷光结构，其上表面开设通光孔(7)；设置在陷光结构上表面的环形微波天线(2)，微波天线(2)外接微波信号；通光孔(7)处的陷光结构上微组装有激光二极管(1)，用于发出激发光源；紧贴在陷光结构底部的光电二极管(6)，其负责收集经滤波后陷光结构发出的荧光。