[发明专利]一种磁控溅射平面阴极在审
| 申请号： | 201810574229.4 | 申请日： | 2018-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN108396299A | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 王正安 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种磁控溅射平面阴极，包括：靶材背板、靶材、第一绝缘件、第二绝缘件、第一磁铁以及第二磁铁；所述靶材绑定在所述靶材背板的上表面上，所述第一绝缘件与所述第二绝缘件分别铺设在所述靶材两端且与所述靶材背板的上表面贴合；所述第一磁铁设置在所述第一绝缘件上方，所述第二磁铁设置在所述第二绝缘件上方，所述第一磁铁与所述第二磁铁磁极相反且平行置于所述靶材两端。本发明实施例提供的磁控溅射平面阴极，不仅能够提升靶材表面磁场的强度，还能够提升靶材表面磁场水平分量的强度以及磁场分布均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 绝缘件 磁铁 靶材 靶材背板 磁控溅射 平面阴极 靶材表面 上表面 磁场分布 磁场水平 磁铁磁极 均匀度 绑定 贴合 磁场 平行 铺设 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射平面阴极，其特征在于，包括：靶材背板、靶材、第一绝缘件、第二绝缘件、第一磁铁以及第二磁铁；所述靶材绑定在所述靶材背板的上表面上，所述第一绝缘件与所述第二绝缘件分别铺设在所述靶材两端且与所述靶材背板的上表面贴合；所述第一磁铁设置在所述第一绝缘件上方，所述第二磁铁设置在所述第二绝缘件上方，所述第一磁铁与所述第二磁铁磁极相反且平行置于所述靶材两端。
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