[发明专利]一种铁电薄膜材料器件及其制备方法有效
| 申请号： | 201810575033.7 | 申请日： | 2018-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN109036878B | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 曾敏;陈义;陈建伟;陆旭兵;高兴森;刘俊明 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学 |
| 主分类号： | H01G13/00 | 分类号： | H01G13/00;H01G4/10;H01L31/18;H01L31/032 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人： | 潘雯瑛 |
| 地址： | 510006 广东省广州市番禺区外*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明公开了一种铁电薄膜材料器件及其制备方法。该铁电薄膜材料器件的制备方法包括以下步骤：制备PZT溶胶；使用匀胶机将所述PZT溶胶旋涂在Pt/Si衬底上，烘干并退火，得到一层涂层，重复进行旋涂、烘干和退火操作，得到PZT铁电薄膜；再在PZT铁电薄膜上沉积Pt电极，获得PZT铁电薄膜材料器件。通过本发明制得的PZT铁电薄膜材料器件具有优异的能储性能和光伏性能，其最大能储密度可以达到9.4J/cm |
||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 材料 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种铁电薄膜材料器件的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：S1：以三水乙酸铅、正丙醇锆和四异丙醇钛为原料，以冰乙酸和去离子水为溶剂，以正丙醇为螯合剂，制得Pb(Zr0.52Ti0.48)O3溶胶；S2：使用匀胶机将所述Pb(Zr0.52Ti0.48)O3溶胶旋涂在Pt/Si衬底上，得到第一层涂膜，烘干并退火，得到第一层涂层；然后使用匀胶机将所述Pb(Zr0.52Ti0.48)O3溶胶旋涂在该第一层涂层上，得到第二层涂膜，烘干并退火，得到第二层涂层；重复进行所述Pb(Zr0.52Ti0.48)O3溶胶的旋涂、烘干和退火工艺，得到Pb(Zr0.52Ti0.48)O3铁电薄膜；S3：通过脉冲激光沉积法在所述Pb(Zr0.52Ti0.48)O3铁电薄膜上沉积Pt电极，得到Pb(Zr0.52Ti0.48)O3铁电薄膜材料器件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华南师范大学，未经华南师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810575033.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
