[发明专利]场效应晶体管、存储记忆体及其应用在审

专利信息
申请号: 201810576347.9 申请日: 2018-06-06
公开(公告)号: CN108767014A 公开(公告)日: 2018-11-06
发明(设计)人: 戴明志 申请(专利权)人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L27/108
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 王锋
地址: 315201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种场效应晶体管、存储记忆体及其应用。所述场效应晶体管包括源极、漏极、沟道区、第一栅极和至少一第二栅极,所述源极与漏极之间经沟道区连接,所述第一栅极设置在沟道区上,且所述第一栅极与沟道区之间设置有介质层,所述至少一个第二栅极与所述沟道区配合形成用以存储电荷的结。较之现有技术,本发明提供的场效应晶体管结构更为简单,占用空间更少,且制作工艺步骤简化,可以与现有的晶体管制作工艺兼容,成本低廉,并且可以实现单器件存储器,因此在计算机等领域有广泛的应用前景。
搜索关键词: 沟道区 场效应晶体管 存储记忆 漏极 源极 场效应晶体管结构 晶体管制作工艺 应用 单器件存储器 步骤简化 存储电荷 占用空间 制作工艺 介质层 兼容 计算机 配合
【主权项】:
1.一种场效应晶体管,包括源极、漏极、沟道区和第一栅极,所述源极与漏极之间经沟道区连接,所述第一栅极设置在沟道区上,且所述第一栅极与沟道区之间设置有介质层;其特征在于:所述场效应晶体管还包括至少一个第二栅极,所述至少一个第二栅极与所述沟道区配合形成用以存储电荷的结。
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