[发明专利]低水雾冲水装置

摘要

本发明在于提供一种能防止水雾产生，避免影响制程的低水雾冲水装置。其技术手段：低水雾冲水装置包括定位、冲水单元及风刀帽；定位单元一端能与湿制程设备对应侧连接，具有导气通道；冲水单元垂直设置于定位单元自由端处，具有出、入水口；风刀帽包括环状壳体、开槽、及与开槽相连通的内、外出气缝；环状壳体套设于出水口外；开槽设于环状壳体垂直壁面顶端，并能对应于导气通道；内出气缝环设于环状壳体垂直壁面底端内侧，内出气缝间形成有第一间距；外出气缝环设于环状壳体垂直壁面底端外侧，外出气缝间形成有第二间距，另与内出气缝间形成有间隔，而各个外出气缝皆还与一个第一间距相对应。

主权项

1.一种低水雾冲水装置，能配合湿制程设备应用，其特征在于：/n所述低水雾冲水装置(100)，包括有一定位单元(1)、一冲水单元(2)、以及一风刀帽(3)；/n所述定位单元(1)，其一端能与湿制程设备对应侧连接，且具有一能对底侧面输出气体的导气通道(11)；/n所述冲水单元(2)，其垂直设置于该定位单元(1)自由端处，具有一位于底端的出水口(21)、及一位于顶端的入水口(22)；/n所述风刀帽(3)，其包括有一环状壳体(31)、一开槽(32)、至少两个内出气缝(33)、及至少两个外出气缝(34)；/n所述环状壳体(31)，其套设于该出水口(21)外；/n所述开槽(32)，其设于该环状壳体(31)垂直壁面顶端，并能对应于该导气通道(11)；/n所述内出气缝(33)，其环设于该环状壳体(31)垂直壁面底端内侧，各自与该开槽(32)相连通，且各个该内出气缝(33)相互间形成有一第一间距(331)；/n所述外出气缝(34)，其环设于该环状壳体(31)垂直壁面底端外侧，各自与该开槽(32)相连通，且各个该外出气缝(34)相互间形成有一第二间距(341)，另与该内出气缝(33)间形成有一间隔(342)，而各个该外出气缝(34)皆还与一个该第一间距(331)相对应。/n