[发明专利]一种基于直波导全反射耦合连接的微结构片上光源装置及其制作方法在审
| 申请号： | 201810582067.9 | 申请日： | 2018-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN108521073A | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 王岩;罗帅;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 江苏华兴激光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/12 | 分类号： | H01S5/12 |
| 代理公司： | 武汉今天智汇专利代理事务所(普通合伙) 42228 | 代理人： | 邓寅杰 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市邳州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及光电子器件设计技术领域，尤其涉及一种基于直波导全反射耦合连接的微结构片上光源装置及其制作方法，其不同之处在于：所述装置包括基底，用于承载功能器件及电流注入，所述基底包括由下至上依次设置的下金属层、衬底材料层、绝缘层、上金属层；直波导互连腔，用于形成激光振荡，所述直波导互连腔设于衬底材料层上，其包括四个直角互连的长条形直波导腔体分段，相邻两个直波导腔体分段接合处外侧面设有全反射镜面，其中一个直波导腔体分段上排布有周期微结构；输出波导段，所述输出波导段设于衬底材料层上且其一端连接于其中一个直波导腔体分段的端部。本发明可实现低损耗环路振荡，且功率可调。 | ||
| 搜索关键词： | 直波导 腔体分段 衬底材料层 互连 输出波导 耦合连接 全反射 上光源 微结构 基底 绝缘层 设计技术领域 光电子器件 全反射镜面 周期微结构 承载功能 功率可调 环路振荡 激光振荡 上金属层 下金属层 一端连接 依次设置 长条形 低损耗 接合处 外侧面 排布 制作 | ||
【主权项】：
1.一种基于直波导全反射耦合连接的微结构片上光源装置，其特征在于：其包括：基底，用于承载功能器件及电流注入，所述基底包括由下至上依次设置的下金属层、衬底材料层、绝缘层、上金属层；直波导互连腔，用于形成激光振荡，所述直波导互连腔设于衬底材料层上，其包括四个直角互连的长条形直波导腔体分段，相邻两个直波导腔体分段接合处外侧面设有全反射镜面，其中一个直波导腔体分段上排布有周期微结构；输出波导段，所述输出波导段设于衬底材料层上且其一端连接于其中一个直波导腔体分段的端部。
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