[发明专利]一种提高WOLED+COA基板制造方法在审

专利信息
申请号: 201810582101.2 申请日: 2018-06-07
公开(公告)号: CN108832027A 公开(公告)日: 2018-11-16
发明(设计)人: 连建设 申请(专利权)人: 广州市得胜光电科技有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L21/027;H01L27/32
代理公司: 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 代理人: 张清彦
地址: 510000 广东省广州市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种提高WOLED+COA基板制造方法,具体步骤如下:S1:在制作好的WOLED CF基板上涂覆有机材料的平坦化层,并添加粘结剂静置3‑7min;S2:待平坦化层完全粘结在基板上后,在基板上涂覆负性光刻胶形成彩膜基板,静置5‑10min;S3:在完成S2后,在彩膜基板上利用曝光机进行曝光处理10‑15min,使得RGB像素曝光45‑55%,黑矩阵处完全曝光;S4:在完成S3后,彩膜基板上通过显影机进行显影处理,并加入显影剂,将溶解的光刻胶通过水枪喷射5‑10min清洗干净,使用烘干机进行干燥处理15‑25min;S5:在完成S4后,添加固化剂将彩膜基板进行固化处理15‑20min,直至黑矩阵处的平坦化层完全固化。本发明制备简单,加工快,能够有效地提高RGB像素的平整性,提高产品质量,从而提高画质。
搜索关键词: 彩膜基板 平坦化层 基板制造 黑矩阵 基板 涂覆 负性光刻胶 干燥处理 固化处理 曝光处理 完全固化 显影处理 有机材料 曝光 水枪 固化剂 光刻胶 烘干机 平整性 曝光机 显影机 显影剂 有效地 粘结剂 画质 粘结 制备 喷射 清洗 溶解 制作 加工
【主权项】:
1.一种提高WOLED+COA基板制造方法,其特征在于:具体步骤如下:S1:在制作好的WOLED CF基板上涂覆有机材料的平坦化层,并添加粘结剂静置3‑7min;S2:待平坦化层完全粘结在基板上后,在基板上涂覆负性光刻胶形成彩膜基板,静置5‑10min;S3:在完成S2后,在彩膜基板上利用曝光机进行曝光处理10‑15min,使得RGB像素曝光45‑55%,黑矩阵处完全曝光;S4:在完成S3后,彩膜基板上通过显影机进行显影处理,并加入显影剂,将溶解的光刻胶通过水枪喷射5‑10min清洗干净,使用烘干机进行干燥处理15‑25min;S5:在完成S4后,添加固化剂将彩膜基板进行固化处理15‑20min,直至黑矩阵处的平坦化层完全固化,RGB处固化面积为45‑55%,完成制作。
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