[发明专利]一种激光退火装置和方法

摘要

本申请公开了一种激光退火装置和方法，该装置包括：腔室、镜片、移动结构以及固定结构，其中：腔室设置有开口；固定结构位于开口的边缘，且固定在腔室上；镜片固定在移动结构上，且位于开口上方；移动结构固定在固定结构上，且移动结构与固定结构的固定位置可调，使得镜片相对于开口的位置可调。在对玻璃基板上的非晶硅膜层进行激光退火时，如果激光透过镜片的位置处产生痕迹或损坏，那么，可以通过改变移动结构与固定结构的固定位置，改变镜片的位置，使得激光可以透过镜片中没有被破坏的部分，这样，在保证照射至非晶硅膜层上激光的均匀性，进而保证激光退火工艺效果的情况下，可以无需更换镜片，相较于现有技术，可以增加镜片的使用寿命。

主权项

1.一种激光退火装置，其特征在于，包括：腔室、镜片、移动结构以及固定结构，其中：所述腔室设置有开口；所述固定结构位于所述开口的边缘，且固定在所述腔室上；所述镜片固定在所述移动结构上，且位于所述开口上方；所述移动结构固定在所述固定结构上，且所述移动结构与所述固定结构的固定位置可调，使得所述镜片相对于所述开口的位置可调。