[发明专利]一种半导体材料设备

摘要

本发明公开了一种半导体材料设备，包括第一固定板以及固定安装在所述第一固定板上的装配箱，所述第一固定板上固有第一安放槽和第二安放槽，所述装配箱内有转向腔，所述第一固定板上固定安装有装配块，所述装配块上固设有马达，所述马达固设有转向轴，所述转向轴上固定安装第一锥边轮，所述第一锥边轮与第二锥边轮配合连接，所述第二锥边轮固定安装于第二转向轴上，所述第二转向轴分为上中下三段，所述第二转向轴中段通过第二键槽用第二平键固定安装第二锥边轮，所述第二转向轴中段上插接配合转向套，所述第二转向轴上段通过第一键槽用第一平键固定连接转向环，所述转向环上有第一螺孔，所述转向环上螺栓连接转向环第一罩盖。

主权项

1.一种半导体材料设备，包括第一固定板以及固定安装在所述第一固定板上的装配箱，所述第一固定板上固有第一安放槽和第二安放槽，所述装配箱内有转向腔，所述第一固定板上固定安装有装配块，所述装配块上固设有马达，所述马达固设有转向轴，所述转向轴上固定安装第一锥边轮，所述第一锥边轮与第二锥边轮配合连接，所述第二锥边轮固定安装于第二转向轴上，所述第二转向轴分为上中下三段，所述第二转向轴中段通过第二键槽用第二平键固定安装第二锥边轮，所述第二转向轴中段上插接配合转向套，所述第二转向轴上段通过第一键槽用第一平键固定连接转向环，所述转向环上有第一螺孔，所述转向环上螺栓连接转向环第一罩盖，所述转向环上固有固定轴，所述固定轴与转向轮上轮槽平滑配合，所述转向轮用第三平键固定安装在第三转向轴中段第三键槽上，所述第三转向轴分为上中下三段，所述第三转向轴上段上有控制台，所述第三转向轴上段有花键，所述第三转向轴上段花键连接第二固定板，所述第二固定板上有第二螺孔，所述第二固定板上螺栓连接有第二罩盖，所述第三转向轴上段顶部有第三螺孔，所述第四螺栓连接固定在第三转向轴上段，所述第二罩盖位于容腔中，所述第二固定板上有第四螺孔，所述控制台上有第五螺孔，所述控制台与第二固定板螺栓连接，所述控制台上有固定槽。