[发明专利]一种基于温度外推法的薄膜热电偶静态特性标定方法有效
| 申请号： | 201810585927.4 | 申请日： | 2018-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN108627283B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 杨遂军;丁炯;陈柔茹;叶树亮 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01K15/00 | 分类号： | G01K15/00 |
| 代理公司： | 33272 杭州奥创知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王佳健 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于温度外推法的薄膜热电偶静态特性标定方法。本发明以激光作为标定激励源，根据传感器内集成薄膜铂电阻结合温度外推模型实现薄膜热电偶温度推算，根据数字正交解调技术同步测量薄膜铂电阻阻值和薄膜热电偶热电势，实现薄膜热电偶静态特性标定。所述方法将标定时的温度梯度集中在传感器上，使标定时温度分布与使用时一致，实现静态特性的准确标定。本发明通过改变激光器控制器的输出电流大小控制激光器出光功率，可实现不同温度下薄膜热电偶静态特性标定，相对于常规的薄膜热电偶静态特性标定装置，能够将温度梯度集中于传感器内避免补偿导线中温度梯度影响标定结果，具有标定准确度高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 标定 薄膜热电偶 静态特性 温度梯度 传感器 激光器控制器 数字正交解调 薄膜铂电阻 标定结果 标定装置 补偿导线 出光功率 大小控制 集成薄膜 模型实现 输出电流 同步测量 温度分布 激光器 准确度 铂电阻 常规的 激励源 热电偶 热电势 外推法 下薄膜 推算 激光 | ||
【主权项】：
1.一种基于温度外推法的薄膜热电偶静态特性标定方法，其特征在于：/n以激光器加热薄膜热电偶热结点处使得温度梯度集中在自标定薄膜温度传感器内，作为薄膜热电偶静态标定的温度激励源，辅以信号处理与采集记录热电势，根据两个薄膜铂电阻温度结合温度推算模型实现薄膜热电偶温度推算，调节激光功率，根据薄膜热电偶热结点温度和热电势计算不同温度下的薄膜热电偶塞贝克系数，实现薄膜热电偶静态特性标定；/n所述的自标定薄膜温度传感器是在绝缘底层上一次镀制有金极与铂极，两电极相接触的结点即为热电偶热结点；所述的金极、铂极和热电偶热结点称为热电偶；所述热电偶在铂极上串接有两个不同半径的半圆弧形薄膜铂电阻，所述的半圆弧形薄膜铂电阻的圆心位于热电偶热结点的中心位置。/n
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