[发明专利]等离子体启辉的检测装置及方法、工艺腔室在审
| 申请号： | 201810586846.6 | 申请日： | 2018-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN110582155A | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 叶华;刘红义 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体启辉的检测装置、方法和工艺腔室。包括光电转换元件和控制单元，其中，光电转换元件的感光面用于与工艺腔室的出光侧对应，以检测工艺腔室内的光信号并将光信号转换为电信号后发送至控制单元；控制单元，用于接收电信号后与预设的临界启辉电信号进行比较，当电信号满足临界启辉电信号时，判定工艺腔室内的等离子体发生启辉。通过检测工艺腔室内的光信号并将光信号转换为电信号，之后根据电信号确定等离子体是否发生启辉。检测等离子体是否启辉的装置简单、有效，能够有效地降低检测等离子体启辉的成本。此外，还便于工艺开发人员进行预判，无需复杂的控制算法与数据处理，可以更好地进行推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 启辉 工艺腔 等离子体 等离子体启辉 光电转换元件 光信号转换 检测 工艺腔室 室内 等离子体发生 接收电信号 工艺开发 检测装置 控制算法 数据处理 感光面 有效地 预判 预设 判定 发送 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体启辉的检测装置，其特征在于，包括光电转换元件和控制单元，其中，/n所述光电转换元件的感光面用于与工艺腔室的出光侧对应，以检测所述工艺腔室内的光信号，所述光电转换元件能将所述光信号转换为电信号后发送至所述控制单元；/n所述控制单元，用于接收所述电信号后与预设的临界启辉电信号进行比较，当所述电信号满足所述临界启辉电信号时，判定所述工艺腔室内的等离子体发生启辉。/n
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