[发明专利]具有纳米孔阵的法布里-珀罗结构、制备方法和操作方法有效
| 申请号： | 201810587937.1 | 申请日： | 2018-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN109060725B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 王文会;涂龙;李旭洲 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N21/552 | 分类号： | G01N21/552 |
| 代理公司： | 11201 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 张润 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有纳米孔阵的法布里‑珀罗结构、制备方法和处理方法，该结构包括：依次设置的第一玻璃层、第一金膜、第二金膜和第二玻璃层；其中，第一金膜上设置有第一纳米孔阵，第二金膜上设置有第一通孔和第二通孔，第二玻璃层上设置有第三通孔和第四通孔；在第一金膜和第二金膜之间具有腔体，纳米孔阵中至少的一部分孔阵设置在腔体下侧，第一通孔、第三通孔、腔体、第四通孔和第二通孔连通，第一金膜和第二金膜构成法布里珀罗结构的第一反射面和第二反射面。本发明具有如下优点：金膜纳米孔阵配置成双层结构，通过金膜纳米孔阵产生超透射共振信号以增加信号强度，同时通过双层微腔可以提升信噪比，从而得到高质量的光学测量信号。 | ||
| 搜索关键词： | 金膜 通孔 纳米孔 玻璃层 腔体 反射面 制备 法布里-珀罗结构 光学测量信号 法布里珀罗 共振信号 双层结构 依次设置 增加信号 法布里 信噪比 透射 孔阵 微腔 连通 配置 | ||
【主权项】：
1.一种具有纳米孔阵的法布里-珀罗结构，其特征在于，包括：/n第一玻璃层；/n形成在所述第一玻璃层之上的第一金膜，所述第一金膜上设置有第一纳米孔阵；/n形成在所述第一金膜之上的第二金膜，所述第二金膜上设置有第一通孔和第二通孔；/n形成在所述第二金膜之上的第二玻璃层，所述第二玻璃层上设置有第三通孔和第四通孔，所述第一通孔和所述第三通孔连通，所述第二通孔和所述第四通孔连通；/n其中，在所述第一金膜和所述第二金膜之间具有腔体，在所述腔体的外侧所述第一金膜和所述第二金膜通过粘接剂粘合，所述第一纳米孔阵中至少的一部分孔阵设置在所述腔体下侧，所述第三通孔、所述第一通孔、所述腔体、所述第二通孔和所述第四通孔连通，所述第一金膜和所述第二金膜构成法布里珀罗结构的第一反射面和第二反射面。/n
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