[发明专利]薄膜体声波谐振器及其制造方法有效
| 申请号： | 201810588325.4 | 申请日： | 2018-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN110581695B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 王晓川 | 申请（专利权）人： | 芯知微（上海）电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 201607 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种薄膜体声波谐振器及其制造方法。将夹在第一电极片体和第二电极片体之间的第一压电感应震荡片整体置于第一空腔之上，其边界为不含任何相互平行对边的多边形，不仅消除水平方向成为杂波的附加驻波震荡，也同时最大程度低降低横向寄生波所消耗的能量；同时，在第一压电感应震荡片之外置放“悬空”的第二压电感应震荡片和第三压电感应震荡片，接收和吸收通过上下电极内被引发的震动波传于外部的部分震动能量，增强置于从而提高薄膜体声波谐振器包括品质因子在内的滤波性能。相应的制造方法也同时披露。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜体声波谐振器，包括：/n第一衬底，位于所述第一衬底上的第一绝缘材料片体，所述第一绝缘材料片体背离所述第一衬底的一侧形成有第一空腔；/n层叠设置于第一绝缘材料片体上的第一电极片体和第二电极片体，所述第一电极片体包含位于所述第一空腔上的第一电极空腔；所述第二电极片体包含位于所述第一空腔上的第二电极空腔；/n置于所述第一空腔之上、所述第一电极片体和第二电极片体之间的第一压电感应震荡片，所述第一压电感应震荡片的下上表面分别与所述第一电极片体和所述第二电极片体相粘附，所述第一压电感应震荡片的边界为第一压电感应片边界，所述第一压电感应片边界的至少一部分由第一电极空腔的部分边界和第二电极空腔的部分边界相交后组成，所述第一压电感应片边界呈不包含任何相互平行对边的多边形，并完全包络在第一空腔边界之内；/n置于至少部分所述第一空腔之上、并置于所述第一电极片体和第二电极片体之间的第二压电感应震荡片和第三压电感应震荡片，所述第二压电感应震荡片和所述第三压电感应震荡片的下上表面皆分别与所述第一电极片体和所述第二电极片体相粘附，所述第二压电感应震荡片和第三压电感应震荡片接收和吸收通过所述第一电极片体和所述第二电极片体被引发的震动波传于外部的部分震动能量。/n
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