[发明专利]一种三维层析成像系统及方法在审
申请号: | 201810589584.9 | 申请日: | 2018-06-08 |
公开(公告)号: | CN109060713A | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 祁春超;潘子祥;谭信辉;刘艳丽 | 申请(专利权)人: | 深圳市华讯方舟太赫兹科技有限公司;华讯方舟科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/3586 | 分类号: | G01N21/3586 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 李庆波 |
地址: | 518102 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请公开了一种三维层析成像系统及方法,该系统包括:无衍射器件、聚光器件、扫描器件以及接收器;无衍射器件用于将入射的第一光束汇聚成第二光束;聚光器件设置于无衍射器件的出光侧,聚光器件上形成有通孔,第二光束通过该通孔射到扫描器件;扫描器件用于将第二光束以扫描方式反射到被检材料,并将被检材料反射的第三光束反射到聚光器件;接收器设置于聚光器件的聚光区,用于接收聚光器件汇聚的第三光束,以利用第三光束的信息构建被检材料的三维图像。通过上述方式,本申请能够提高材料检测的精度。 | ||
搜索关键词: | 聚光器件 被检材料 扫描器件 衍射器件 三维层析成像 接收器 通孔 反射 材料检测 光束反射 光束汇聚 光束通过 三维图像 扫描方式 信息构建 聚光区 入射 申请 汇聚 | ||
【主权项】:
1.一种三维层析成像系统,其特征在于,包括:无衍射器件、聚光器件、扫描器件以及接收器;所述无衍射器件用于将入射的第一光束汇聚成第二光束;所述聚光器件设置于所述无衍射器件的出光侧,所述聚光器件上形成有通孔,所述第二光束通过所述通孔射到所述扫描器件;所述扫描器件用于将所述第二光束以扫描方式反射到被检材料,并将所述被检材料反射的第三光束反射到所述聚光器件;所述接收器设置于所述聚光器件的聚光区,用于接收所述聚光器件汇聚的所述第三光束,以利用所述第三光束的信息构建所述被检材料的三维图像。
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