[发明专利]飞秒激光时/空整形光丝制备高质量高深径比微孔的装置

摘要

本发明涉及一种飞秒激光时/空整形光丝制备高质量高深径比微孔的装置，属于透明材料微加工领域。利用脉冲时域整形设备产生飞秒激光脉冲序列；调整待加工样品位置使光丝在其中产生最大深度的微孔；优化脉冲序列中子脉冲延时以提高微孔质量；组合利用半波片与偏振片分别调节被两透镜聚焦的激光能量，使激光经过两透镜聚焦后在待加工样品上形成的微孔直径相等；调节两聚焦透镜，使两个独立的光丝在空间上共线并且首尾叠加，形成一个延长的均匀光丝；移动样品位置使首尾叠加的光丝在样品上产生最大深径比的微孔。本发明能显著提高所加工微孔的质量和深径比，微孔直径调节范围广，对加工环境无特殊要求，加工效率高，加工成本低。

主权项

1.利用飞秒激光时/空整形光丝制备高质量高深径比微孔的装置，包括：飞秒激光器、机械开关、第一分光镜、第二分光镜、第三分光镜、第一反射镜，第二反射镜，第三反射镜，第四反射镜，第五反射镜，第六反射镜，第一半波片，第二半波片，第一偏振片，第二偏振片，第一聚焦透镜，第二聚焦透镜，成像聚焦透镜，照明光源、六自由度精密电控平台、计算机、CCD监控成像设备；/n开启机械开关，飞秒激光器发出的激光到达第一分光镜，被分成能量相等的反射光与透射光，反射光被第一反射镜反射再到达第一分光镜；透射光被第二反射镜反射也再次达到第一分束镜，两束光经过第一分束镜后形成空间重合的脉冲序列；脉冲序列经过第二分束镜后被分成能量相等的反射光与透射光，反射光依次经过第五反射镜、第二半波片、第二偏振片、第六反射镜后被第一聚焦透镜聚焦；透射光依次经过第三反射镜、第四反射镜、第一半波片、第一偏振片后被第二聚焦透镜聚焦；被两透镜聚焦的激光脉冲序列在第三分束镜后形成首尾叠加的延长光丝；照明光源发出的照明光经过六自由度精密电控平台后照射到待加工样品上，并经过成像聚焦透镜后在CCD成像设备上成像；通过计算机控制飞秒激光器、六自由度精密电控平台以及CCD成像设备。/n