[发明专利]一种铸造准单晶硅锭的炉体热场在审
申请号: | 201810598333.7 | 申请日: | 2018-06-12 |
公开(公告)号: | CN108468087A | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
发明(设计)人: | 董朝龙;刘超;雷琦;毛伟;李建俊;洪炳华;张泽兴;黄林;赖昌权 | 申请(专利权)人: | 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人: | 谢德珍 |
地址: | 332000 江西省九*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 一种铸造准单晶硅锭的炉体热场,包括炉体,所述炉体内设有隔热笼体,隔热笼体包括经4块测角保温板连接成口字型的4块外侧保温板,每块外侧保温板的内侧均设有高效保温软毡,高效保温软毡的内侧设有内侧保温板,所述隔热笼体内侧由上至下依次设有上保温顶板、石英坩埚和下保温底板,所述石英坩埚外侧设有坩埚护板,坩埚护板的上端连接有进气管,坩埚护板外侧设有侧加热器,侧加热器的上端连接吊臂加热板,吊臂加热板的上端连接有石墨电极,所述坩埚护板下端设有坩埚底板,坩埚底板下端四周设有隔热保温条,隔热保温条内侧设有热交换平台,所述热交换平台经石墨立柱固定。该热场具有较好的保温性,起到节能降耗和提高晶体质量目的。 | ||
搜索关键词: | 护板 坩埚 隔热笼体 上端 热交换 隔热保温条 外侧保温板 侧加热器 高效保温 石英坩埚 准单晶硅 坩埚底板 保温板 加热板 炉体热 吊臂 软毡 下端 铸造 保温底板 保温顶板 节能降耗 石墨电极 保温性 进气管 口字型 石墨 测角 立柱 炉体 热场 体内 | ||
【主权项】:
1.一种铸造准单晶硅锭的炉体热场,包括炉体(1),其特征在于,所述炉体(1)内设有隔热笼体(2),隔热笼体(2)包括经4块测角保温板(3)连接成口字型的4块外侧保温板(5),每块外侧保温板(5)的内侧均设有高效保温软毡(6),高效保温软毡(6)的内侧设有内侧保温板(4),所述隔热笼体(2)内侧由上至下依次设有上保温顶板(19)、石英坩埚(8)和下保温底板(18),所述石英坩埚(8)外侧设有坩埚护板(7),坩埚护板(7)的上端连接有进气管(9),坩埚护板(7)外侧设有侧加热器(10),侧加热器(10)的上端连接吊臂加热板(12),吊臂加热板(12)的上端连接有石墨电极(20),所述坩埚护板(7)下端设有坩埚底板(14),坩埚底板(14)下端四周设有隔热保温条(15),隔热保温条(15)内侧设有热交换平台(16),所述热交换平台(16)经石墨立柱(21)固定。
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