[发明专利]一种铸造准单晶硅锭的炉体热场在审

专利信息
申请号: 201810598333.7 申请日: 2018-06-12
公开(公告)号: CN108468087A 公开(公告)日: 2018-08-31
发明(设计)人: 董朝龙;刘超;雷琦;毛伟;李建俊;洪炳华;张泽兴;黄林;赖昌权 申请(专利权)人: 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 代理人: 谢德珍
地址: 332000 江西省九*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 一种铸造准单晶硅锭的炉体热场,包括炉体,所述炉体内设有隔热笼体,隔热笼体包括经4块测角保温板连接成口字型的4块外侧保温板,每块外侧保温板的内侧均设有高效保温软毡,高效保温软毡的内侧设有内侧保温板,所述隔热笼体内侧由上至下依次设有上保温顶板、石英坩埚和下保温底板,所述石英坩埚外侧设有坩埚护板,坩埚护板的上端连接有进气管,坩埚护板外侧设有侧加热器,侧加热器的上端连接吊臂加热板,吊臂加热板的上端连接有石墨电极,所述坩埚护板下端设有坩埚底板,坩埚底板下端四周设有隔热保温条,隔热保温条内侧设有热交换平台,所述热交换平台经石墨立柱固定。该热场具有较好的保温性,起到节能降耗和提高晶体质量目的。
搜索关键词: 护板 坩埚 隔热笼体 上端 热交换 隔热保温条 外侧保温板 侧加热器 高效保温 石英坩埚 准单晶硅 坩埚底板 保温板 加热板 炉体热 吊臂 软毡 下端 铸造 保温底板 保温顶板 节能降耗 石墨电极 保温性 进气管 口字型 石墨 测角 立柱 炉体 热场 体内
【主权项】:
1.一种铸造准单晶硅锭的炉体热场,包括炉体(1),其特征在于,所述炉体(1)内设有隔热笼体(2),隔热笼体(2)包括经4块测角保温板(3)连接成口字型的4块外侧保温板(5),每块外侧保温板(5)的内侧均设有高效保温软毡(6),高效保温软毡(6)的内侧设有内侧保温板(4),所述隔热笼体(2)内侧由上至下依次设有上保温顶板(19)、石英坩埚(8)和下保温底板(18),所述石英坩埚(8)外侧设有坩埚护板(7),坩埚护板(7)的上端连接有进气管(9),坩埚护板(7)外侧设有侧加热器(10),侧加热器(10)的上端连接吊臂加热板(12),吊臂加热板(12)的上端连接有石墨电极(20),所述坩埚护板(7)下端设有坩埚底板(14),坩埚底板(14)下端四周设有隔热保温条(15),隔热保温条(15)内侧设有热交换平台(16),所述热交换平台(16)经石墨立柱(21)固定。
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