[发明专利]一种全自动曝光方法及装置在审
| 申请号： | 201810598439.7 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN108594604A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 杨明杰 | 申请（专利权）人： | 深圳市盛德鑫智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市金笔知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44297 | 代理人： | 胡清方;彭友华 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种全自动曝光方法及装置，其中装置包括N个曝光灯，设置于曝光灯下方的2N个邻接的菲林平台，其中N是大于等于的整数，每个菲林平台分别对应一个待曝光产品承载平台，所述待曝光产品承载平台设在菲林平台的一侧，每个所述待曝光产品承载平台可相对于对应的菲林平台做垂直于菲林平台的往复直线运动；所述曝光灯可在两个菲林平台2的上方来回移动曝光。本发明具有工作效率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 菲林 承载平台 曝光产品 曝光灯 曝光方法及装置 往复直线运动 工作效率高 邻接 垂直 曝光 移动 | ||
【主权项】：
1.一种全自动曝光方法，其特征在于：采用N个曝光灯对应2N个邻接的菲林平台，其中N是大于等于1的整数，每个菲林平台分别对应一个待曝光产品承载平台，每个所述待曝光产品承载平台可相对于对应的菲林平台做垂直于菲林平台的往复直线运动；当所述曝光灯对其中一个菲林平台下方的待曝光产品进行曝光时，另一个待曝光产品承载平台将另外一个待曝光产品移动到相应的菲林平台下方等待曝光；曝光完成后，曝光灯移动到另一个菲林平台上方，对另一个待曝光产品进行曝光；同时，已曝光产品被相应的待曝光产品承载平台移出，并卸下已曝光产品，装上新的待曝光产品，并将新的待曝光产品移动到相应的菲林平台下方等待曝光；周而复始，进行曝光。
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