[发明专利]一种采用金刚线的硅片切割液收集装置在审
申请号: | 201810601733.9 | 申请日: | 2018-06-12 |
公开(公告)号: | CN108687982A | 公开(公告)日: | 2018-10-23 |
发明(设计)人: | 刘千贤;于川东;张蒙蒙 | 申请(专利权)人: | 山东大海新能源发展有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人: | 吴绍群 |
地址: | 257300 山东省东营市*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种采用金刚线的硅片切割液收集装置,包括:第一收集室;顶流与所述第一收集室的底流流体连通的第二收集室;与所述第二收集室的流体连通的排放管道。针对切割液循环利用的需要,以适合的结构对使用后的切割液进行收集和初步的处理,并且由于具有合理的结构,可避免硅粉的沉积,避免异物、杂质等进入循环管路,且便于清理和维护。 | ||
搜索关键词: | 收集室 硅片切割液 流体连通 收集装置 金刚线 切割液 排放管道 循环管路 循环利用 异物 沉积 硅粉 维护 | ||
【主权项】:
1.一种采用金刚线的硅片切割液收集装置,其特征在于,包括:第一收集室;顶流与所述第一收集室的底流流体连通的第二收集室;与所述第二收集室的流体连通的排放管道。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东大海新能源发展有限公司,未经山东大海新能源发展有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810601733.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:锯线及切断装置
- 下一篇:一种3D自由曲面金刚石加工机