[发明专利]一种采用金刚线切割的硅片脱胶药液配置系统在审
| 申请号： | 201810601761.0 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN108748750A | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 樊明仲;张孟军;杨海峰;顾汉中 | 申请（专利权）人： | 山东大海新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;F28D7/08;F24H1/20;F24H9/18;F24H9/20 |
| 代理公司： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人： | 吴绍群 |
| 地址： | 257300 山东省东营市广*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种采用金刚线切割的硅片脱胶药液配置系统，本发明的目的在于提供一种采用金刚线切割的硅片脱胶药液配置系统，能够长时间对脱胶药液的溶剂持续性地预热，当脱胶机需要补充脱胶药液时，可以无需加热直接将符合温度要求的溶剂输送至药液槽，或前置一小段时间快速的加热溶剂后输送即可。并且以脱胶机工艺上游的硅片切割工序的产热作为预热的主要热源，减少了加热的能耗，预热溶剂的同时还能达到冷却切割液的目的，不仅利于脱胶液的循环回用，且可以避免工艺下游的切割液增压、压滤分离工序中可能产生的高温侵蚀，一举数得。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片脱胶 配置系统 线切割 切割液 脱胶机 脱胶 加热 高温侵蚀 硅片切割 加热溶剂 溶剂输送 温度要求 循环回用 压滤分离 预热溶剂 脱胶液 药液槽 预热的 增压 热源 预热 溶剂 产热 前置 冷却 能耗 上游 补充 | ||
【主权项】：
1.一种采用金刚线切割的硅片脱胶药液配置系统，其特征在于，包括：预热室，具有容置配置脱胶药液的溶剂的空腔；通过管道连通所述预热室的设置于脱胶设备的药液槽；所述预热室内设有换热管，供与配置脱胶药液的溶剂进行热交换的流体流通；所述流体为被收集的已使用的进行硅片切割的切割液。
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